多可®存储系统(DUCO Storage System)

申请试用

了解我们的多可®存储系统(DUCO Storage System)

使工艺设备达到最高效率的最大生产能力

由于300mm半导体 Fab工程复杂,而且根据制程不同布局一般分布式布局各个工艺制程,集中式分部同种类型设备,各个工艺间或设备之间的工程时间(Process time)不同,因此在完成整个工艺制程之前,需要很多的线边缓存WIP(Work In Process)被储存在Fab内。来使各工艺设备达到最高效率的最大生产能力。 DUCO Sotrage System 不仅具有储存功能,为了和其他自动化设备更好的连接,具备OHT和 ARV的自动对接口以及人工上下料口。来兼容人工和其他自动化设备的出入库功能。随着纳米制程的微量化的发展,为了防止载具内的 Wafer污染,还采用N2 Purge功能,隔绝氧气,控制湿度,保护载具内的晶圆安全。
同时stocker的设计上遵守Cleanroom Standard(FED-209E) 和 SEMI E88(Stocker SEM) Standard。

产品图片

多可®存储系统(DUCO Storage System)技术亮点

高密度存储
高空间利用率

SEMI接口兼容性
兼容其他半导体车间系统和设备

快速实施
自动料位示教测试

兼容ARV/OHT/人工

下载产品手册 申请试用

上海市浦东新区金沪路358弄4号楼

关注中科新松

  • 您在寻找协作式机器人吗

    请正确填写您的信息,以便我们在第一时间联系你

    填写表单,获取更多产品详情资料